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紫外(UV)光探測器

發布時間:2008/12/3 0:00:00 訪問次數:514

  在燃燒監視等工業應用場合,需要某一個特定的對光譜特別敏感的光電探測器,在此光譜范圍內,火焰發射的光比2 000 k溫度下的背景輻射(例如黑體輻射)要強得多。通常在波長肛250~400 nm的紫外光譜范圍內,火焰的光發射要遠遠大于來自背景的熱輻射。

  硅基光電二極管在紫外光譜范圍內一般來說量子效率偏低,然而,從成本、速度及信噪比等角度考慮,迫切需要將探測器和電子電路在硅基工藝下單片集成。目前已采用雙極工藝實現了如圖1所示結構的集成uv傳感器[41]。淺p卜和n+注入區形成的耗盡區非常接近芯片表面,注入光子在這個區域里被吸收并產生光生載流子。注入n+和p+區域的深度并不是標準的,為了在同一晶圓上將uv光電探測器和接口電路集成而且不影響模擬電路器件的電學性能,在制作過程中增加了低熱預算和快速熱退火等工藝。

  這種p+-n+型uv敏感光電二極管制作在npn晶體管的島型基區內,該區由a(p電極接出(如圖1所示)。由基區和附加的n+區形成的二極管是用來削減透射更深的綠色、紅色及紅外等成分的光對光生電流的影響。陽極電流被用做紫外光產生的信號電流,而長波長光產生的流向陰極和air極的光生電流并不會對整個傳感系統造成影響。

  圖1 雙極工藝集成uv敏感光電二極管

  在燃燒監視的應用中,這種uv集成光電探測器的光生電流變化范圍從20pa~1na。它采用to5型封裝形式,并使用聚焦透鏡將紫外光匯聚在面積tmm'左右的八邊型探測器表面。同時,在探測器表面還增加了一層玻璃濾波薄膜用做光的帶通濾波。

  歡迎轉載,信息來源維庫電子市場網(www.dzsc.com)



  在燃燒監視等工業應用場合,需要某一個特定的對光譜特別敏感的光電探測器,在此光譜范圍內,火焰發射的光比2 000 k溫度下的背景輻射(例如黑體輻射)要強得多。通常在波長肛250~400 nm的紫外光譜范圍內,火焰的光發射要遠遠大于來自背景的熱輻射。

  硅基光電二極管在紫外光譜范圍內一般來說量子效率偏低,然而,從成本、速度及信噪比等角度考慮,迫切需要將探測器和電子電路在硅基工藝下單片集成。目前已采用雙極工藝實現了如圖1所示結構的集成uv傳感器[41]。淺p卜和n+注入區形成的耗盡區非常接近芯片表面,注入光子在這個區域里被吸收并產生光生載流子。注入n+和p+區域的深度并不是標準的,為了在同一晶圓上將uv光電探測器和接口電路集成而且不影響模擬電路器件的電學性能,在制作過程中增加了低熱預算和快速熱退火等工藝。

  這種p+-n+型uv敏感光電二極管制作在npn晶體管的島型基區內,該區由a(p電極接出(如圖1所示)。由基區和附加的n+區形成的二極管是用來削減透射更深的綠色、紅色及紅外等成分的光對光生電流的影響。陽極電流被用做紫外光產生的信號電流,而長波長光產生的流向陰極和air極的光生電流并不會對整個傳感系統造成影響。

  圖1 雙極工藝集成uv敏感光電二極管

  在燃燒監視的應用中,這種uv集成光電探測器的光生電流變化范圍從20pa~1na。它采用to5型封裝形式,并使用聚焦透鏡將紫外光匯聚在面積tmm'左右的八邊型探測器表面。同時,在探測器表面還增加了一層玻璃濾波薄膜用做光的帶通濾波。

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