光電晶體管
發布時間:2008/12/3 0:00:00 訪問次數:1811
基區-集電區pn結面積被擴大了的npn晶體管顯然可以被用做光電晶體管,結構如圖1所示[40]。
圖1 一種纂于sbc工藝的光電晶體管
簡單地說,雙極工藝制作的光電晶體管利用基區-集電區pn結作為一個光吸收的耗盡層,并且將其光生電流放大。在標準埋層集電極(sbc)雙極工藝中光電二極管的p區和npn晶體管的p型基區是同一個p型區,而光電二極管的陰極和npn晶體管的集電極都是由同一個n+注入區構成,基極接觸可以被省略。在基區-集電區pn結空間電荷區產生的電子-空穴對被加在結上的電場分開。在空間電荷區電場的作用下,空穴向基區漂移,而電子向集電區漂移。在基區積累的空穴使得基區處于高電勢,基極-發射極勢壘降低,發射區向基區擴散電子,并且在電場作用下,向集電極漂移。這個過程與晶體管的電流放大機理相似。因此,光電二極管所產生的光生電流/pd被npn型晶體管放大了卩倍(β為晶體管的電流增益)。在晶體管的發射極和集電極可以分別獲得被放大了的光生電流(fj+1)幾和β/p°需要注意的是,對于較長波長,也就是當入射光的滲透深度較深時,只有空間電荷區的一部分光生載流子對幾起作用,并被放大。而其他部分的光生載流子對幾沒有作用,也不會被放大。
雙極光電晶體管通常來說比光電二極管的工作速度要低很多。這首先是由于電流增益卩,以及基區渡越時間免的影響,這兩個因素限制了載流子的擴散。同時,光電晶體管的工作速度還受到發射區-基區pn結勢壘電容cse,及基區-集電區pn結更大的勢壘電容q的限制,這兩個較大的電容是因為需要足夠大的光感應區面積所造成的。同時還需要注意發射極-基極總的電容龜是發射極-基極間擴散電容cde和pn結勢壘電容cse之和,即
這個公式與普通晶體管的3 db帶寬計算公式相同。基極-集電極電容與光感應區域的面積成正比,光電晶體管中的這個區域比普通雙極晶體管的基-集結面積大得多。因此,光電晶體管的工作頻率和pin光電二極管與小面積普通晶體管的結合體相比,速度要慢很多。但是在低頻應用及pin光電二極管不能被集成的場合,光電晶體管還是具備一定的優越性。
在光時鐘分布的應用中,一種帶有自調整發射極的npn型晶體管被作為工作在波長2=840 nm下的光電晶體管來研究:刀。它應用的是帶有0.5 gm厚外延層的雙層多晶硅工藝,在此工藝中,自對準發射極技術被用來在1.0 p.m光刻條件下實現最小0.6 gm的發射極寬度。盡管外延層的厚度比該波長下的光透射深度1/a=16 gm小得多,但由于npn型晶體管具有肛70的電流增益因子,從而仍可以獲得相對較高的響應度r=3.2 w/a。這個小尺寸光電晶體管,數據率可以達到1.25 gb/s。
歡迎轉載,信息來源維庫電子市場網(www.dzsc.com)
基區-集電區pn結面積被擴大了的npn晶體管顯然可以被用做光電晶體管,結構如圖1所示[40]。
圖1 一種纂于sbc工藝的光電晶體管
簡單地說,雙極工藝制作的光電晶體管利用基區-集電區pn結作為一個光吸收的耗盡層,并且將其光生電流放大。在標準埋層集電極(sbc)雙極工藝中光電二極管的p區和npn晶體管的p型基區是同一個p型區,而光電二極管的陰極和npn晶體管的集電極都是由同一個n+注入區構成,基極接觸可以被省略。在基區-集電區pn結空間電荷區產生的電子-空穴對被加在結上的電場分開。在空間電荷區電場的作用下,空穴向基區漂移,而電子向集電區漂移。在基區積累的空穴使得基區處于高電勢,基極-發射極勢壘降低,發射區向基區擴散電子,并且在電場作用下,向集電極漂移。這個過程與晶體管的電流放大機理相似。因此,光電二極管所產生的光生電流/pd被npn型晶體管放大了卩倍(β為晶體管的電流增益)。在晶體管的發射極和集電極可以分別獲得被放大了的光生電流(fj+1)幾和β/p°需要注意的是,對于較長波長,也就是當入射光的滲透深度較深時,只有空間電荷區的一部分光生載流子對幾起作用,并被放大。而其他部分的光生載流子對幾沒有作用,也不會被放大。
雙極光電晶體管通常來說比光電二極管的工作速度要低很多。這首先是由于電流增益卩,以及基區渡越時間免的影響,這兩個因素限制了載流子的擴散。同時,光電晶體管的工作速度還受到發射區-基區pn結勢壘電容cse,及基區-集電區pn結更大的勢壘電容q的限制,這兩個較大的電容是因為需要足夠大的光感應區面積所造成的。同時還需要注意發射極-基極總的電容龜是發射極-基極間擴散電容cde和pn結勢壘電容cse之和,即
這個公式與普通晶體管的3 db帶寬計算公式相同。基極-集電極電容與光感應區域的面積成正比,光電晶體管中的這個區域比普通雙極晶體管的基-集結面積大得多。因此,光電晶體管的工作頻率和pin光電二極管與小面積普通晶體管的結合體相比,速度要慢很多。但是在低頻應用及pin光電二極管不能被集成的場合,光電晶體管還是具備一定的優越性。
在光時鐘分布的應用中,一種帶有自調整發射極的npn型晶體管被作為工作在波長2=840 nm下的光電晶體管來研究:刀。它應用的是帶有0.5 gm厚外延層的雙層多晶硅工藝,在此工藝中,自對準發射極技術被用來在1.0 p.m光刻條件下實現最小0.6 gm的發射極寬度。盡管外延層的厚度比該波長下的光透射深度1/a=16 gm小得多,但由于npn型晶體管具有肛70的電流增益因子,從而仍可以獲得相對較高的響應度r=3.2 w/a。這個小尺寸光電晶體管,數據率可以達到1.25 gb/s。
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