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VCSEL光腔的設計

發布時間:2008/12/5 0:00:00 訪問次數:1115

  在多對dbr結構中,若中間區域某一層的厚度偏離1/4個波長,則在該結構中會形成駐波。最簡單的情況是將中間的間隔設定為半波長,這樣可以與兩邊的dbr層一起,構成了一個小的f-p諧振腔。vcsel的光腔厚度約為一個波長左右,如圖所示。光腔中的有源層兩邊圍著高帶隙的包層。低帶隙的有源層和高帶隙的包層材料中的導帶和價帶的偏移,限制了載流子的移動。為了在諧振腔里提供光增益,制作多量子阱結構,f-p腔的光場最大值就在中心處。將量子阱位置與光場最大值處交疊,量子阱就可以提供最大的增益。例如,對應于發射波長650 nm,780 nm,850 nm,980 nm和1300 nm,其量子阱材料分別為ingap,a1gaas, gaas, ingaas不口ingaasp。

  vcsel的激射需滿足諧振腔模式增益條件:

  在vcsel中由于短諧振腔,與普通的邊發射激光器有很大的不同。這里定性地引入一個增強因子r,表征由于諧振腔中自發輻射的自相干效應導致的增益增強,于是上式修正為

  式中,dac和dex分別為有源區和包層的吸收損耗,r1,r2分別是上、下dbr的反射率ad為衍射損耗。為定量地探討vcsel的激射條件,光限制因子r采用近似公式r=2d/leff來計算,其中leff是vcsel的等效腔長。

  vcsel激射的相位條件為

  式中,θn和aex是波長為九的光在n型及p型dbr高反膜中引起的反射相移。

  量子阱vcsel由于其光腔長度只有1~2 ;tm,其光波模式間隔有50~100 nm,而量子阱增益譜線寬度遠小于50 nm,因此在進行光腔設計時,首先要考慮vcsel的諧振腔膜與量子阱材料的波長匹配問題;其次為了降低器件的閾值電流密度,還要考慮整個光腔中的駐波場分布。通過調節空間層的厚度7使量子阱材料位于駐波場的峰值位置,以提高模式的光限制因子,增大模式增益系數。

  vcsel中注入電流密度與模式增益的關系與普通量子阱激光器相同:

  式中,騙為量子阱數。增加有源區量子阱數目,可以使光增益提高,降低閾值電流。但是,當量子阱的數目增大到一定的數值時,將出現3個因素對器件的閾值電流密度產生影響。因為量子阱具有一定的寬度,因此不能使所有的量子阱都與駐波的峰值相對應,離峰值越遠的量子阱增益效率越低,因而無法提高光增益的效果。

  總的穿透電流與量子阱的數目是成正比的,因此每增加一個量子阱就會使總的穿透電流增加,而穿透電流則是構成整個器件閾值電流的一部分,因此閾值電流也會隨著穿透電流的增加而增加。

  綜合考慮上述因素,對于腔長為凡的gaas/algaas基vcsel,量子阱數的最佳值為3。隨著dbr反射率的增加,所需阱數越來越少;閾值電流密度越來越低;垂直腔面發射激光器的腔長很短;注入面積可做得很小;有源區體積極小:動態調制頻率有很大的提高。在相同的閾值電流密度下,注入面積越小,閾值電流越小,但是當注入面積接近衍射波長尺寸時,衍射損耗加大,又使閾值電流迅速上升。注入面積太大易使注入電流分布不均勻而產生高階模。

  歡迎轉載,信息來自維庫電子市場網(www.dzsc.com)



  在多對dbr結構中,若中間區域某一層的厚度偏離1/4個波長,則在該結構中會形成駐波。最簡單的情況是將中間的間隔設定為半波長,這樣可以與兩邊的dbr層一起,構成了一個小的f-p諧振腔。vcsel的光腔厚度約為一個波長左右,如圖所示。光腔中的有源層兩邊圍著高帶隙的包層。低帶隙的有源層和高帶隙的包層材料中的導帶和價帶的偏移,限制了載流子的移動。為了在諧振腔里提供光增益,制作多量子阱結構,f-p腔的光場最大值就在中心處。將量子阱位置與光場最大值處交疊,量子阱就可以提供最大的增益。例如,對應于發射波長650 nm,780 nm,850 nm,980 nm和1300 nm,其量子阱材料分別為ingap,a1gaas, gaas, ingaas不口ingaasp。

  vcsel的激射需滿足諧振腔模式增益條件:

  在vcsel中由于短諧振腔,與普通的邊發射激光器有很大的不同。這里定性地引入一個增強因子r,表征由于諧振腔中自發輻射的自相干效應導致的增益增強,于是上式修正為

  式中,dac和dex分別為有源區和包層的吸收損耗,r1,r2分別是上、下dbr的反射率ad為衍射損耗。為定量地探討vcsel的激射條件,光限制因子r采用近似公式r=2d/leff來計算,其中leff是vcsel的等效腔長。

  vcsel激射的相位條件為

  式中,θn和aex是波長為九的光在n型及p型dbr高反膜中引起的反射相移。

  量子阱vcsel由于其光腔長度只有1~2 ;tm,其光波模式間隔有50~100 nm,而量子阱增益譜線寬度遠小于50 nm,因此在進行光腔設計時,首先要考慮vcsel的諧振腔膜與量子阱材料的波長匹配問題;其次為了降低器件的閾值電流密度,還要考慮整個光腔中的駐波場分布。通過調節空間層的厚度7使量子阱材料位于駐波場的峰值位置,以提高模式的光限制因子,增大模式增益系數。

  vcsel中注入電流密度與模式增益的關系與普通量子阱激光器相同:

  式中,騙為量子阱數。增加有源區量子阱數目,可以使光增益提高,降低閾值電流。但是,當量子阱的數目增大到一定的數值時,將出現3個因素對器件的閾值電流密度產生影響。因為量子阱具有一定的寬度,因此不能使所有的量子阱都與駐波的峰值相對應,離峰值越遠的量子阱增益效率越低,因而無法提高光增益的效果。

  總的穿透電流與量子阱的數目是成正比的,因此每增加一個量子阱就會使總的穿透電流增加,而穿透電流則是構成整個器件閾值電流的一部分,因此閾值電流也會隨著穿透電流的增加而增加。

  綜合考慮上述因素,對于腔長為凡的gaas/algaas基vcsel,量子阱數的最佳值為3。隨著dbr反射率的增加,所需阱數越來越少;閾值電流密度越來越低;垂直腔面發射激光器的腔長很短;注入面積可做得很小;有源區體積極小:動態調制頻率有很大的提高。在相同的閾值電流密度下,注入面積越小,閾值電流越小,但是當注入面積接近衍射波長尺寸時,衍射損耗加大,又使閾值電流迅速上升。注入面積太大易使注入電流分布不均勻而產生高階模。

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