光刻版和光刻膠的質量控制要求
發布時間:2012/4/28 19:29:14 訪問次數:1071
光刻版和光刻膠是微電子器件的LMC555CM重要輔助材料，它們對光刻工藝的質量起著決定性的作用。在微電子器件的生產過程中，光刻版和光刻膠的質量控制不當將會使圖形邊緣出現鋸齒和尖峰，引起結的低壓擊穿和金屬化系統的電遷移失效。光刻膠的顆粒和光刻版的針孔會在圖形上產生小島或針孔，它們會造成漏電或使擴散結面出現尖峰引起低壓擊穿失效。光刻膠主要控制分辨率和顆粒度。分辨率的測量是利用分辨率測試圖形在高倍顯微鏡下觀測或用線寬測試儀來實現。顆粒度的測量是將稀釋過的光刻膠用一定孑L徑的過濾器過濾后用稱量法進行的，或是按常規工藝在玻璃片或硅片上甩膠進行烘干，后用顯微鏡進行定量檢測。控制標準與器件圖形尺寸有關。
光刻版和光刻膠是微電子器件的LMC555CM重要輔助材料，它們對光刻工藝的質量起著決定性的作用。在微電子器件的生產過程中，光刻版和光刻膠的質量控制不當將會使圖形邊緣出現鋸齒和尖峰，引起結的低壓擊穿和金屬化系統的電遷移失效。光刻膠的顆粒和光刻版的針孔會在圖形上產生小島或針孔，它們會造成漏電或使擴散結面出現尖峰引起低壓擊穿失效。光刻膠主要控制分辨率和顆粒度。分辨率的測量是利用分辨率測試圖形在高倍顯微鏡下觀測或用線寬測試儀來實現。顆粒度的測量是將稀釋過的光刻膠用一定孑L徑的過濾器過濾后用稱量法進行的，或是按常規工藝在玻璃片或硅片上甩膠進行烘干，后用顯微鏡進行定量檢測。控制標準與器件圖形尺寸有關。
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相關技術資料- 4-28光刻版和光刻膠的質量控制要求
- 4-27氯化氫及二氯乙烯(Cz HCI3)氯化
公網安備44030402000607
