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工藝可靠性控制要求

發布時間:2012/4/28 19:51:09 訪問次數:630

    工藝可靠性控制非常重要,所生產出UC3845來的產品可靠性是否滿足謾計要求,與工藝控制的嚴格程度和工藝控制技術水平的高低密切相關。例如,電鍍是硅微波脈沖功率晶體管生產中一道重要工序,過去一直采用直流電鍍法,電鍍效果不理想,特別是細線條、窄間距時要想鍍厚一些很困難,另外鍍層質量較差。后來嘗試采用新工藝方法——脈沖電鍍法,經過一段時間的摸索試驗,終于較好地解決了上述問題,現在的鍍層細密、光潔,側邊陡直,有利于鍍層加厚。為實現工藝設計質量提供了有力的保證。
    檢測可靠性控制要求
    為加強半導體分立器件的生產過程控制,我國近幾年來在工藝檢測中引入了過程控制監測(PCM)技術和統計過程控制(SPC)技術,以達到及時檢測工序質量的目的,進而及時、準確地發現問題產生的原因并及時采取措施解決,提高了效率,縮短了時間,也達到了可靠性控制的目的。正是由于有了更多的中間檢測手段才使得許多的失效模式被發現,失效機理更清晰,其解決措施更對癥、有效,例如,紅外熱像儀、聲學掃描顯微鏡、掃描電鏡等先進的檢測儀器都是發現問題、分析問題、改進設計與工藝等的重要手段。
    工藝可靠性控制非常重要,所生產出UC3845來的產品可靠性是否滿足謾計要求,與工藝控制的嚴格程度和工藝控制技術水平的高低密切相關。例如,電鍍是硅微波脈沖功率晶體管生產中一道重要工序,過去一直采用直流電鍍法,電鍍效果不理想,特別是細線條、窄間距時要想鍍厚一些很困難,另外鍍層質量較差。后來嘗試采用新工藝方法——脈沖電鍍法,經過一段時間的摸索試驗,終于較好地解決了上述問題,現在的鍍層細密、光潔,側邊陡直,有利于鍍層加厚。為實現工藝設計質量提供了有力的保證。
    檢測可靠性控制要求
    為加強半導體分立器件的生產過程控制,我國近幾年來在工藝檢測中引入了過程控制監測(PCM)技術和統計過程控制(SPC)技術,以達到及時檢測工序質量的目的,進而及時、準確地發現問題產生的原因并及時采取措施解決,提高了效率,縮短了時間,也達到了可靠性控制的目的。正是由于有了更多的中間檢測手段才使得許多的失效模式被發現,失效機理更清晰,其解決措施更對癥、有效,例如,紅外熱像儀、聲學掃描顯微鏡、掃描電鏡等先進的檢測儀器都是發現問題、分析問題、改進設計與工藝等的重要手段。

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