此外，在制造電容傳感器時，一般要選用溫度膨脹系數小、幾何尺寸穩定的材料。例如， AD7524JR電極的支架選用陶瓷材料要比塑料或有機玻璃好；電極材料以選用鐵鎳合金為好；近年來用在陶瓷或石英上噴鍍一層金屬薄膜來代替電極，效果更好。

   減小溫度誤差的另一常用措施是采用差動對稱結構，在測量電路中加以補償。

    理想條件下，平行板電容器的電場均勻分布于兩極板相互覆蓋的空間，但實際上，在極板的邊緣附近，電場分布是不均勻的，從而使電容的實際計算公式變得相當復雜。這種電場的邊緣效應相當于傳感器并聯了一個附加電容，其結果使傳感器的靈敏度下降和非線性增加。

   為了盡量減少邊緣效應，首先應增大電容器的初始電容量，即增大極板面積和減小極板間距。此外，加裝等位環是一個有效方法。以圓形平板電容器為例，如圖2-97所示在極板A的同一平面內加一個同心環面G。A和G在電氣上相互絕緣，二者之間的間隙越小越好。使用時必須始終保持A和G等電位，故稱G為等位環，這樣就可使A、B間的電場接近理想的均勻分布了。

   加裝等位環的電容器有三個端子A、B、G。應該說明的是，它雖然有效地抑制了邊緣效應，但也增加了加工工藝難度。另外，為了保持A與G的等電位，一般盡量使二者同為等電位。但有時難以實現，這時就必須加入適當的電子線路。