俄歇電子:原子內T0518-007D層電子能級躍遷過程中釋放出來的能量不是以X射線的形式釋放而是用該能量將核外另一電子發射出去(或使空位層的外層電子發射出去),脫離原子變為二次電子,這個被電離出來的電子稱為俄歇電子。因每一種原子都有自己特定的殼層能量,所以它們的俄歇電子能量也各有特征值,能量在50~1500eV范圍內。俄歇電子是從試樣表面極有限的幾個原子層中發出的,所以俄歇電子信號適用于表層化學成分分析。

   吸收電子:人射電子對樣品掃描時,除了發射工次電子和背散射電子等信息,一部分電子(在樣品內部深處產生的不能逸出的二次電子和背散射電子)經多次非彈性散射,能量損失殆盡(假定樣品有足夠的厚度沒有透射電子產生)被復合所吸收,成為吸收電流信號,這個信號在正常情況下通過載物臺接地,若吸收電流用于向電流放大器提供電流,則被放大的信號便可用來產生主要依賴于被掃描區域電導率的信號,可用在分析樣品上存在導電路徑或在沒有外部偏置電路的情況下確定樣品表面上材料的電導率以及用來觀察PN結的結區位置、形狀和尺寸等的束感生電流像(ERIC)。