在光刻膠生產過程中可以加入各種各樣的染色劑
發布時間:2015/11/4 22:14:27 訪問次數:1093
在光刻膠生產過程中可以加入各種各樣的染色劑。一種染色劑在曝光時可以具有一種或幾種作用。ADS7868IDBVR一種作用可能是吸收輻射光線，借此可以削弱反射光的影響，將駐波效應減到最小。另一種作用可以改變顯影時光刻膠聚合物的分解率。這一作用町以產生清晰的顯影線條（增大反差）。染色劑的一個重要作用是消除淀積材料穿過表面臺階細線條處產生的凹口。對兆刻膠添加染色劑會增加5%~50%的曝光時間36。
在光刻膠中形成正確的圖形是非常關鍵的一步，但對于晶圓上的圖形定義，只有這一步是不夠的。，我們還需精確地控制刻蝕工藝。目前有幾種技術可以幫助刻蝕圖形定義。
在光刻膠生產過程中可以加入各種各樣的染色劑。一種染色劑在曝光時可以具有一種或幾種作用。ADS7868IDBVR一種作用可能是吸收輻射光線，借此可以削弱反射光的影響，將駐波效應減到最小。另一種作用可以改變顯影時光刻膠聚合物的分解率。這一作用町以產生清晰的顯影線條（增大反差）。染色劑的一個重要作用是消除淀積材料穿過表面臺階細線條處產生的凹口。對兆刻膠添加染色劑會增加5%~50%的曝光時間36。
在光刻膠中形成正確的圖形是非常關鍵的一步，但對于晶圓上的圖形定義，只有這一步是不夠的。，我們還需精確地控制刻蝕工藝。目前有幾種技術可以幫助刻蝕圖形定義。
相關技術資料- 11-4在光刻膠生產過程中可以加入各種各樣的染色劑
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