必須由第二次圖形化工藝來產生攜帶第二層金屬的溝槽
發布時間:2015/11/9 19:44:56 訪問次數:602
實際藝更復雜一點。在一個多層AD8014ARTZ-REEL7金屬系統中,必須有一層直接將第一層金屬與器件電連接。必須由第二次圖形化工藝來產生攜帶第二層金屬的溝槽,因此稱為雙大馬士革( dual-damasCene).、圖13. 17描述了一個典型的連接兩層金屬的雙大馬士革工藝。它從已經有一層金屬的地方開始。淀積一層低七介質并用CMP工藝對其平坦化。:用圖形化工藝在介質層中產生一個通孔。第二次圖形化工藝導致介質降低,并在表面開出更寬的“臺階”( step bac:k)槽。這個圖形留下開口更寬的頂層盆,它可以允許足夠的寬度為銅條攜帶要求的電路等級。這個順序提供了填充通孔和形成銅金屬導線一步完成的優勢。基于這一基本的雙大馬士革丁藝有一些變形方式,每種都是一個窄的通孔相為金屬填充而備的較寬的溝槽開1來結尾。
實際藝更復雜一點。在一個多層AD8014ARTZ-REEL7金屬系統中,必須有一層直接將第一層金屬與器件電連接。必須由第二次圖形化工藝來產生攜帶第二層金屬的溝槽,因此稱為雙大馬士革( dual-damasCene).、圖13. 17描述了一個典型的連接兩層金屬的雙大馬士革工藝。它從已經有一層金屬的地方開始。淀積一層低七介質并用CMP工藝對其平坦化。:用圖形化工藝在介質層中產生一個通孔。第二次圖形化工藝導致介質降低,并在表面開出更寬的“臺階”( step bac:k)槽。這個圖形留下開口更寬的頂層盆,它可以允許足夠的寬度為銅條攜帶要求的電路等級。這個順序提供了填充通孔和形成銅金屬導線一步完成的優勢。基于這一基本的雙大馬士革丁藝有一些變形方式,每種都是一個窄的通孔相為金屬填充而備的較寬的溝槽開1來結尾。
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