載流子激發結深
發布時間:2015/11/10 20:03:00 訪問次數:780
裁流子激發是一種非破壞性結深測量技術，對于由離子注入的淺結特別有用7 它用，IRF4905SPBF個激光“點”（2斗m）在結區上方觸發（見圖14.16）二隨著激光束進入晶圓并穿過結區，在結處有過剩載流子堆積．第二束激光被過剩載流子區反射掉。通過分析那里的反射信號，確定結的深度。
這種系統可以測量檢測晶圓或直接在生產晶圓上測量結深，并且可以用做在線工藝控制測量。
關鍵尺寸和線寬測量
電路中每個元件所需的精確尺寸都要受全部工藝的控制和影響。垂直尺寸由摻雜和薄膜T藝設定，水平面尺寸在光刻工藝形成，而作為此工藝的一部分，關鍵尺寸(CD)會在顯影后的顯微鏡榆測和最終顯微鏡檢測時測量。
這些技術包括低技術顯微鏡圖像對比、SEM、散射儀、原子力顯微鏡(AFM)和器件電學測量．
裁流子激發是一種非破壞性結深測量技術，對于由離子注入的淺結特別有用7 它用，IRF4905SPBF個激光“點”（2斗m）在結區上方觸發（見圖14.16）二隨著激光束進入晶圓并穿過結區，在結處有過剩載流子堆積．第二束激光被過剩載流子區反射掉。通過分析那里的反射信號，確定結的深度。
這種系統可以測量檢測晶圓或直接在生產晶圓上測量結深，并且可以用做在線工藝控制測量。
關鍵尺寸和線寬測量
電路中每個元件所需的精確尺寸都要受全部工藝的控制和影響。垂直尺寸由摻雜和薄膜T藝設定，水平面尺寸在光刻工藝形成，而作為此工藝的一部分，關鍵尺寸(CD)會在顯影后的顯微鏡榆測和最終顯微鏡檢測時測量。
這些技術包括低技術顯微鏡圖像對比、SEM、散射儀、原子力顯微鏡(AFM)和器件電學測量．
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