劃片
發布時間:2015/11/15 14:09:20 訪問次數:1665
傳統芯片的封裝工藝始于將晶圓分離成單個的芯片。劃片有兩種方法: TMS320DM6437ZWT6劃片分離或鋸片分離(見圖18. 15).,對于凸點或焊球工藝,劃片是在晶圓上建立凸點或焊殊系統之后。
鋸片法:較厚的晶圓使得鋸片法發展成為劃片工藝的首選方法。鋸片機由下列部分組成:可旋轉的晶圓載臺,自動或手動的劃痕定位影像系統和一一個鑲有鉆石的圓形鋸片。此工藝使用_『兩種技術,且每種技術開始都用鉆石鋸片從芯片劃線上經過。對于薄的晶片,鋸片降低到晶片的表面劃出一條深入晶片厚度1/3的淺槽。芯片分離的方法仍沿用劃片法中所述的圓柱滾軸加壓法。第二種劃片的方法是用鋸片將晶圓完全鋸開成單個芯片。
通常,對要被完全鋸開的晶圓,首先將其貼在一張彈性較好的塑料膜上。在芯片被分離后,還會繼續貼在塑料膜上,這樣會對下一步提取芯片的工藝有所幫助。由于鋸片法劃出的芯片邊緣效果較好,同時芯片的側面也較少產生裂紋和崩角(見圖18. 16),所以鋸片法一直是劃片工藝的首選方法。
劃片法:劃片法(scribing)或鉆石劃片法(diamond scribing)是工業界開發的第一代劃片技術。此方法要求用鑲有鉆石尖端的劃片器從劃線的中心劃逑,并通過折彎晶圓將芯片分離。當晶片厚度超過lo mil時,劃片法的可靠性就會降低。
傳統芯片的封裝工藝始于將晶圓分離成單個的芯片。劃片有兩種方法: TMS320DM6437ZWT6劃片分離或鋸片分離(見圖18. 15).,對于凸點或焊球工藝,劃片是在晶圓上建立凸點或焊殊系統之后。
鋸片法:較厚的晶圓使得鋸片法發展成為劃片工藝的首選方法。鋸片機由下列部分組成:可旋轉的晶圓載臺,自動或手動的劃痕定位影像系統和一一個鑲有鉆石的圓形鋸片。此工藝使用_『兩種技術,且每種技術開始都用鉆石鋸片從芯片劃線上經過。對于薄的晶片,鋸片降低到晶片的表面劃出一條深入晶片厚度1/3的淺槽。芯片分離的方法仍沿用劃片法中所述的圓柱滾軸加壓法。第二種劃片的方法是用鋸片將晶圓完全鋸開成單個芯片。
通常,對要被完全鋸開的晶圓,首先將其貼在一張彈性較好的塑料膜上。在芯片被分離后,還會繼續貼在塑料膜上,這樣會對下一步提取芯片的工藝有所幫助。由于鋸片法劃出的芯片邊緣效果較好,同時芯片的側面也較少產生裂紋和崩角(見圖18. 16),所以鋸片法一直是劃片工藝的首選方法。
劃片法:劃片法(scribing)或鉆石劃片法(diamond scribing)是工業界開發的第一代劃片技術。此方法要求用鑲有鉆石尖端的劃片器從劃線的中心劃逑,并通過折彎晶圓將芯片分離。當晶片厚度超過lo mil時,劃片法的可靠性就會降低。
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