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兩批樣品固定電荷密度分布

發布時間:2016/7/1 22:27:17 訪問次數:543

   表9.3中列出了兩批樣品的參數分布值,樣品參數的均值反映了參數的分布中心,CAP007DG而標準差反映了參數偏離中心值的范圍。標準差越小,表明工藝制造過程中的波動就越小,樣品參數的均值和設計值越接近,工藝控制能力就越好。從表9.3中可以看到,s公司樣品柵氧化層厚度的均值比H公司樣品更接近設計值3.2nm。

  

   制造工藝過程是將產品從設計圖紙轉變成實際產品的過程。它由對材料施行的一系列加工過程組成,使其從原材料或半成品狀態逐步轉變為最終所期望的狀態,也即成為設計所要求的產品。隨著工藝的進步,制造工藝的可重復性和精確性大為提高,操作人員的個人因素及其技術水平的高低對工藝過程的影響越來越少。然而從另一方面來講,這一工藝過程是否具有連續穩定地加工出符合術要求的產品的能力還必須經過進一步的檢驗。



   表9.3中列出了兩批樣品的參數分布值,樣品參數的均值反映了參數的分布中心,CAP007DG而標準差反映了參數偏離中心值的范圍。標準差越小,表明工藝制造過程中的波動就越小,樣品參數的均值和設計值越接近,工藝控制能力就越好。從表9.3中可以看到,s公司樣品柵氧化層厚度的均值比H公司樣品更接近設計值3.2nm。

  

   制造工藝過程是將產品從設計圖紙轉變成實際產品的過程。它由對材料施行的一系列加工過程組成,使其從原材料或半成品狀態逐步轉變為最終所期望的狀態,也即成為設計所要求的產品。隨著工藝的進步,制造工藝的可重復性和精確性大為提高,操作人員的個人因素及其技術水平的高低對工藝過程的影響越來越少。然而從另一方面來講,這一工藝過程是否具有連續穩定地加工出符合術要求的產品的能力還必須經過進一步的檢驗。



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