PSS還與LED器件的老化性能有關。用大電B5P-SHF-1AA流加速老化的方式下,將Pss的LED樣品與平面藍寶石襯底的LED樣品進行對比試驗。測試顯示,與平面襯底LED相比,PSs-LED具有更低的串聯電阻和更高的出光功率,當用4⒛A・cmˉ2加速老化時,平面襯底LED立刻遭受電流擁擠,而Pss-LED可持續耐受100s。并且,Pss~LED的壽命是平面襯底LED的1,6倍。即Pss-LED具有更優越的可靠性。基于光電測試結果、加速老化數據,如圖5-53中的p-GaN與ITO界面的俄歇電子能譜(Auger Elcctron Spec“oscopy,AEs)-深度曲線m]測量結果表明,平面襯底LEDp-GaN與ITo的界面Ga含量是Ps⒏LED相同界面Ga含量 的2倍,這意味著結溫、載流子擁擠、p接觸失效等皆是平面襯底LED加速老化后可能的退化機制。