蒸發過程是蒸發源原子(或分子)從固體或液體表面逸出成為蒸氣原子的過程。固態物BDCA-10-25質受熱(或其他能量)激發,溫度升高至熔點,熔化,再升至沸點,蒸發;或者由固態直接升華為氣態。

   對大多數金屬及化合物源而言,需要加熱至熔化之后才能有效地蒸發。只有少數源材料,如Mg、Cd、Zn等是直接升華的。

   在任何溫度條件下,固態(或液態)物質周圍環境中都存在著該物質的蒸氣,平衡時的蒸氣壓強被稱為該物質的平衡蒸氣壓,又稱飽和蒸氣壓。只有當周圍環境中物質的蒸氣分壓低于它的平衡蒸氣壓時,才可能有該物質的凈蒸發。任何物質的平衡蒸氣壓都是溫度的函數,隨著溫度升高而迅速增大。圖⒏8所示是常用金屬的平衡蒸氣壓溫度曲線。

   式中,σ為液態物質表面張力;N為阿伏伽德羅常數;乃為玻耳茲曼常數;T為熱力學溫度;ΔHv為蒸發焓,是物質從液態到氣態的變化過程中(溫度不變化)所吸收的熱量,又稱為氣化潛熱。在蒸鍍真空室中,源被加熱,只有當處于加熱溫度的源的平衡蒸氣壓值高于室內源蒸氣的分壓時 才會有凈蒸發。圖⒏9所示是蒸鍍真空室示意圖,真空室內源的加熱溫度越高,其平衡蒸氣壓就高于室內源蒸氣分壓越多,蒸發速率也就越快。為了獲得合理的源蒸發速率,工程上規定在平衡蒸氣壓為1.333Pa時的溫度為該物質的蒸發溫度。例如,鋁的蒸發溫度是125O℃;而難熔金屬鎢的蒸發溫度超過3000℃,因而蒸發鎢這類難熔金屬必須提供更多能量將其加熱到很高的溫度。