本章在首先研究集束型裝各可調度性問題,建立了包括機械手和加工模塊時序約束關系的數學規劃模型。 JS28F256P30B95在此模型基礎上,分析了機械手和加工模塊周期性加工和搬運晶圓過程,從理論上證明了集束型裝備可調度性的充要條件,并給出該條件的解析表達式;然后提出了一種基于線性規劃模型和沖突控制策略的搜索方法。該算法使用增加的基本周期作為控制參數,以產生不同的搬運順序,對每個給定的運送順序,用線性規劃模型求得問題的最優解和并且判斷存在無沖突的可行解。在搜縈中,為了避免機器手活動的沖突,采用了左移和延展的沖突控制策略。利用52節的分解思想解決有滯留時問約束的多集束型裝備優化調度問題,首先提出了包括加工模塊加I約束和機械手搬運約束的調度模型,然后理論證明了該類調度問題的生產周期F界,并提出了基于分解思想的啟發式調度方法。