根據SEMI標準E2196定義,集束型裝備由晶圓加工模塊和機械手搬運設各組成,廣JS28F128J3D75泛應用于集成電路生產線。對某些加工過程而言,晶圓滯留時間約束非常嚴格。該約束要求當晶圓在加工模塊完成加工后,必須在給定時間范圍內從加工模塊移出,否則該晶圓可能被加工模塊內殘余的化學氣體和高溫損壞判。由于集束型裝備只有一個物料搬運機械手,且加工模塊間沒有緩沖空間,因此調度機械手搬運作業使晶圓及時離開加工模塊(即滿足晶圓的滯留時間約束)非常困難。在某些情況下,不存在可行調度,因此集束型裝備首先保證存在可行調度方案,即問題的可調度性,然后才是求解最優調度。該調度問題類似于抓鉤調度。但兩者之間存在一些差別,如集束型裝備存在并行加工和雙臂機械手等。該調度問題也不同于帶搬運時間的車間調度問題,主要在于車間調度問題強調工件排序優化,對機械手搬運作業通常采用啟發式規則,不能保證機械手搬運作業的最優性阝^ql。針對集束型裝備的滯留時間約束調度存在著兩類方法:一類強調基于單臂機械手的Pull策略和雙臂機械手的swap策略[10~1釗,研究這兩種策略在滿足何種條件是有效的,即提出可調度 性的充分必要條件,通過此可調度性條件,如果存在可行調度,給出基于機械手等待時間的調度算法,但不考慮不滿足此可調度性條件的調度方案,使該方法應用范圍有限;另外一類首先利用PctⅡ網建模并轉換成事件圖,再把事件圖轉化為對應的混合整數規劃模型,利用CPLEX軟件求解該模型可以得到最優調度方案,但該模型中約束條件表現為庫所和變遷的約束,致使模型復雜,月^無法表示調度問題所需的機械手能力約束、加工模塊能 力約束等,不適合工程的實際應用。