濕度傳感器法

   通過測量己校準的濕度傳感器或集成電路芯片響應的方法來測定器件內部的水汽含量的。E13003其工作原理是預先將濕度傳感器或集成電路芯片的敏感參數與程序1中的質譜儀所測試的水汽含量建立一一對照的關系,然后將其密封在器件封殼內,并與封裝外部的引線端相連接,通過測試濕度傳感器或集成電路芯片的敏感參數,即可了解器件內的水汽含量情況。

   試驗設各

   (l)濕度傳感器和能檢測出含量為0,Os%±0.005%(3oOppm±5Oppm)的水汽含量的讀出儀器。傳感器安裝在密封器件內部。

   (2)被測試器件上的金屬走線,它們與器件之間用反向偏置二極管隔離,當被連接作為橋式網絡一部分時,可檢測出腔內0,2%(2O0Oppm)的水汽含量。芯片應以某種方法制冷,使芯片表面為腔內最冷點。器件先被制冷到露點以下,然后加熱到室溫,構成一個完整的試驗周期。