閉環控制系統框圖如圖4-3所示。精密工E13003作臺由計算機控制，微處理機發出指令性信號A，通過動力部件、傳動系統使工作臺移動，并通過檢測裝置不斷實時測出工作臺的實際位移量，向微處理機不斷輸送反饋信號B并與指令性信號A進行比較，用A、B信號

的差值進行控制，使工作臺達到理想的位置精度。用位置檢測系統獲得的信息與指令性信號進行比較，通過反饋來控制精密機械運動精度的系統稱為閉環控制系統。

   圖4-3閉環控制系統框圖

   閉環控制系統的最大優點是定位精度高（可達到亞微米級甚至是納微米級精度）；抗外界干擾和內部參數變化的能力強；同時易實現自動化。其缺點是系統比較復雜；調整、使用和維修比較困難；成本較高。盡管如此，由于精密機械和儀器精度要求越來越高，故閉環控制系統應用是非常廣泛的。

   定位系統的種類很多，開環控制系統如螺旋傳動、齒輪傳動、標尺與度盤、感應同步器等；閉環控制系統如光電編碼器、激光干涉儀等。

   由于定位與測量系統與光電儀器的精度有直接關系，因此定位與測量系統的設計是儀器設計中的重要一環，并應滿足下列要求。