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研制階段的可靠性控制

發布時間:2012/4/26 20:04:00 訪問次數:948

    為保證可靠性指標要求的實現,在設計時ULN2803APG要對研制階段提出有關的可靠性控制要求,特別是對關鍵原材料的選用和質量均勻性、關鍵工藝的控制、關鍵設備的過程能力和檢測手段等提出明確的控制要求。
    1)提出關鍵原材料的可靠性控制要求
    硅外延片是硅微波脈沖功率晶體管研制中的關鍵原材料,在硅微波脈沖功率晶體管生產中對硅外延片的要求很高,因硅外延片的因素使得大量芯片報廢,可靠度非常低,其原因是硅微波脈沖功率晶體管的單胞管芯面積很大,任何一點疏忽都會使可靠性下降甚至報廢。因此謾計時對硅外延片的可靠性控制要求應貫穿到從進料檢驗到生產過程的每一個環節。
    2)提出關鍵工藝的可靠性控制要求
    硅微波脈沖功率晶體管研制中有些工藝是必須工藝,且工藝難度較大又易出現不穩定的現象,直接影響產品的可靠性,因此,攻克工藝上的技術難關并使之穩定是工藝可靠性控制的要點。
    3)提出關鍵設備的可靠性控制要求
    生產設備對可靠性的影響是不可忽視的,必須清楚認識到所需設備,特別是關鍵設備必須達到工藝設計所需要的能力,否則不能滿足工藝設計的可靠性要求。例如,原有一臺光刻機其光刻精度是1弘m,然而要刻1pm及1pm以下的線條對于該光刻機來說顯然是不能勝任的,雖然曾用某種技術刻到1pm以下,但伴隨產生了一些其他依然難以解決問題,自從更新設備后,所有問題都迎刃而解。
    4)提出關鍵檢測手段控制要求
    由于工藝流程一般很長,及時檢測出各道工序存在的可靠性問題將有助于及時發現、解決出現的問題,這對于提高可靠性、縮短研制周期有很大幫助。因此,大力加強、完善各種檢測手段和改進檢測技術,特別是一些關鍵的檢測技術是可靠性控制的關鍵一環。

    其他可靠性控制要求,除了上述方面需要在設計時提出可靠性控制要求外,還需要對涉及工藝制定的正確性、完整性和嚴密性、工藝的執行情況(包括工藝執行人的素質)、設備使用中對工藝的保證程度(有無負作用等)、環境的影響(如空氣的
潔凈度,包括人員的影響)、溫度、濕度、振動情況、氣流擾動、設備內部的氣氛污染等提出控制要求。在通常情況下,這一方面的影響往往未能引起足夠的重視,而很多時候往往是這些微小的隱患影響了器件的長期可靠性。

    為保證可靠性指標要求的實現,在設計時ULN2803APG要對研制階段提出有關的可靠性控制要求,特別是對關鍵原材料的選用和質量均勻性、關鍵工藝的控制、關鍵設備的過程能力和檢測手段等提出明確的控制要求。
    1)提出關鍵原材料的可靠性控制要求
    硅外延片是硅微波脈沖功率晶體管研制中的關鍵原材料,在硅微波脈沖功率晶體管生產中對硅外延片的要求很高,因硅外延片的因素使得大量芯片報廢,可靠度非常低,其原因是硅微波脈沖功率晶體管的單胞管芯面積很大,任何一點疏忽都會使可靠性下降甚至報廢。因此謾計時對硅外延片的可靠性控制要求應貫穿到從進料檢驗到生產過程的每一個環節。
    2)提出關鍵工藝的可靠性控制要求
    硅微波脈沖功率晶體管研制中有些工藝是必須工藝,且工藝難度較大又易出現不穩定的現象,直接影響產品的可靠性,因此,攻克工藝上的技術難關并使之穩定是工藝可靠性控制的要點。
    3)提出關鍵設備的可靠性控制要求
    生產設備對可靠性的影響是不可忽視的,必須清楚認識到所需設備,特別是關鍵設備必須達到工藝設計所需要的能力,否則不能滿足工藝設計的可靠性要求。例如,原有一臺光刻機其光刻精度是1弘m,然而要刻1pm及1pm以下的線條對于該光刻機來說顯然是不能勝任的,雖然曾用某種技術刻到1pm以下,但伴隨產生了一些其他依然難以解決問題,自從更新設備后,所有問題都迎刃而解。
    4)提出關鍵檢測手段控制要求
    由于工藝流程一般很長,及時檢測出各道工序存在的可靠性問題將有助于及時發現、解決出現的問題,這對于提高可靠性、縮短研制周期有很大幫助。因此,大力加強、完善各種檢測手段和改進檢測技術,特別是一些關鍵的檢測技術是可靠性控制的關鍵一環。

    其他可靠性控制要求,除了上述方面需要在設計時提出可靠性控制要求外,還需要對涉及工藝制定的正確性、完整性和嚴密性、工藝的執行情況(包括工藝執行人的素質)、設備使用中對工藝的保證程度(有無負作用等)、環境的影響(如空氣的
潔凈度,包括人員的影響)、溫度、濕度、振動情況、氣流擾動、設備內部的氣氛污染等提出控制要求。在通常情況下,這一方面的影響往往未能引起足夠的重視,而很多時候往往是這些微小的隱患影響了器件的長期可靠性。

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