(1)去脂溶劑蒸汽清洗工藝。
    這是較早采用的一種清洗工藝，具體C3225X5R1C106M方法是先將有機溶劑加熱至沸點，產生高溫有機溶劑蒸汽，然后將SMA敖入清洗機有機溶劑高溫蒸汽區內，其蒸汽遇到溫度較低的工件表面形成露珠，釋放出汽相潛熱，形成的液態露珠溶劑與表面污染物發生物理或化學，溶解掉殘留污染物，含有污染物的液滴離開SMA表面并帶走污染物，最后用通過蒸汽冷凝回收回來的潔凈溶劑對工件進行噴淋，用機械力沖刷掉污染物。噴淋后工件仍在蒸汽區內，當表面溫度達到蒸汽溫度時，表面不再出現熱交換，工件已潔凈并干燥。此時取出工件，達到清洗的目的。此清洗工藝適合在污染不嚴重而潔凈度要求較高的情況下使用，批量式溶劑
蒸汽清洗設備的結構如圖3-13所示。工藝過程：加熱有機溶劑一放入SMA一汽相洗一噴淋一干燥一取出SMA。

    (2)沸點超聲清洗工藝。
    此工藝是在去脂溶劑蒸汽清洗工藝的基礎上發展起來的，不同的是多了一套超聲波發生裝置。其工藝過程是將被清洗的SMA浸入裝有去脂溶劑的超聲槽中，將溶劑加熱至沸點后，啟動超聲波發生器，發出的超聲波能量經換能器轉化為機械振動，清洗劑在機械振動作用下產生很強的沖擊力，使分子間的物理鍵斷裂，以清除SMA上的污染物。SMA經超聲波高頻振蕩作用后，再用溶劑噴淋沖刷污染物，最后干燥并取出SMA，達到清洗目的。此工藝清潔效果好，適用于清洗污嚴重的SMA。但超聲波的高頻振蕩波會透過封裝材料進入器件的內部而對晶體管或IC內部芯片焊點造成破壞，對于航天航空、軍事領域及生命保障類重要電子產品不宜使用這種清洗工藝。工藝過程：加熱有機溶劑一SMA浸入溶劑一超聲波清洗一噴淋一干燥一取出SMA。
    (3)連續式溶劑清洗工藝。
    連續式溶劑清洗工藝原理與去脂溶劑蒸汽清洗工藝相同。不同的是，整個過程是在清洗設備中連續完成的，此工藝蒸汽損失較小，適合大批量生產，連續式溶劑清洗機的結構如圖3-14所示。工藝過程：加熱有機溶劑一放入SMA一汽相洗（或啟動超聲清洗）一多次噴淋一干燥一取出SMA。