濕度是指大氣中的水蒸氣含量，通常采用絕對濕度和相對濕度兩種表示方法。 RHRP1560絕對濕度是指單位空間中水蒸氣的絕對含量、濃度或密度，一般用符號AH表示。相對濕度是指被測氣體中蒸汽壓占該氣體在相同溫度下飽和水蒸氣壓的百分比，一般用符號RH表示。相對濕度給出的是大氣的潮濕程度，它是一個無量綱的量，在實際使用中多使用相對濕度這一概念。

   水的飽和蒸汽壓隨溫度的降低而逐漸下降。在同樣的空氣水蒸氣壓下，溫度越低，則空氣的水蒸氣壓與同溫度下水的飽和蒸汽壓差值越小。當空氣溫度下降到某一溫度時，空氣中的水蒸氣壓與同溫度下水的飽和水蒸氣壓相等。此時，空氣中水蒸氣將向液相轉化而凝結成露珠，相對濕度為l000/o RH。該溫度稱為空氣的露點溫度，簡稱露點。如果這一溫度低于0℃，水蒸氣將結霜，這一溫度又稱為霜點溫度。二者統稱為露點。空氣中水蒸氣壓越小，露點越低，因而可用露點表示空氣中的濕度。

   根據水分子易于吸附在固體表面并滲透到固體內部的這種特性（即水分子親和力），濕敏傳感器可分為水分子親和力型濕敏傳感器和非水分子親和力型濕敏傳感器。下面介紹發展比較成熟的兩類濕敏傳感器。