這是目前計量領域中應用最廣、 EP1C4F324C6N精度最高的方法。在測長距離的情況下可以在50m以內突現誤差公式：±(0.1+10 -6/) pm;在測量微小位移時可以得到優于0.Inm的分辨率。在測角中的應用可以得到0.1”或更高的精度。干涉原理廣泛應用于粗糙度測量、平

面度測量以及變形測量等。

   激光小角度測量法是干涉原理典型的應用。

   激光小角度測量儀就是將R固定，用激光干涉測長的辦法測出日，即可得出a值。圖2-6是激光小角度的測量原理圖。激光器l發出的激光光束經分光器3分成兩路：一路沿光路口射向角錐鏡2；一路沿光路6射向參考鏡4。當棱鏡在位置，時，沿光路口前進的

光束經角錐棱鏡旋轉1800后，沿光路c射向平面反射鏡5，然后被反射鏡反射，從原路返回到分光器，并與從6路返回的參考光束會合而產生干涉。當棱鏡移到位置Ⅱ后，沿光路口前進的光束由于棱鏡Ⅱ及平面反射鏡5的作用，使它們仍按原路返回，不產生光點移動，從而干涉圖形相對接收元件的位置保持不變。