用偏振光的分析來得到有關被測量的信息是一種非常有效的方法。

   用橢圓儀測量薄膜，可以使EP1C4F324C7N分辨率達到0. Inm數量級，而且可以同時得到膜的厚度和折射率的數值。

   在干涉條紋細分技術中，目前精度最高的方法是用偏振光分析實現的。

   用偏振原理測量1/4波片和1/2波片等延遲片，對應的厚度誤差在Inm左右，這是用直接測量厚度的方法難以實現的。

   共光路干涉顯微鏡的光路結構原理圖，其關鍵是在顯微鏡的偏振光路中加入了Wollaston梭鏡，它是由兩個光軸互相垂直的雙折射直角棱鏡粘合而成，它將入射線偏振光分為兩束具有微小夾角、振動方向互垂直的線偏振光。這兩束光通過顯微物鏡后產生一平行的剪切量AX投射到被測表面，從被測表面反射回的兩束正交線偏振光經原路返回，由Wollaston棱鏡重新復合共線，穿過1/4波片和檢偏器后發生干涉。由于兩束光的橫向剪切量AX小于顯微鏡的分辨率極限，因此在視場中只能看到單一雙重像。當被測表面形貌在AX微區內的高度梯度不為零時，致兩束相干光產生一定的光程差，在視場中相應的地方就會有強烈的光強變化，因而表面形貌的微觀細節便清楚地呈現出來。