在自由傳播過程中，激光光源EP1C3T144C8（如氦一氖激光器）傳播的距離要比普通閃光燈所傳播的距離遠得多。激光具有良好的方向性，發散角小，使得激光可以用在定位系統申，目前很多測量系統都采用激光技術作為輔助測量手段。激光光斑中心的準確定位是決定測量系統精度高低的關鍵因素。通常可選用CCD、PSD、陣列式光電二極管等接收器件接受光斑，整個系統需經過標定后才可確定光斑的位置變化量。

   激光光斑中心檢測在激光掃描三角法、激光準直儀、激光光斑分析儀等光學測量、檢測手段中是一項關鍵技術，檢測算法的精度、速度直接影響了光學測量的精度及速度。下面介紹常用的PSD定位和CCD光斑中心定位。

   PSD是一種非線列非面陣的連續分布的半導體位置檢測元件，其工作原理就是基于橫向光電效應。根據入射光的種類和入射范圍不同，PSD分為檢測單個坐標軸位置的線型（一維）PSD和二坐標軸（平面）位置的面型（二維）PSD。

    維PSD。其結構如圖4- 24所示，工作原理如圖4- 25所示，表面P+層為感光面。兩邊各設一信號輸出電極。中間為I層，底層（N層）的公共電極“3”用來加反向偏壓（即“3”點加正電壓）。當入射光照射到感光面上某點時（見圖示“入射光點”），由于

存在平行于結面的橫向電場作用，使光生載流子形成向兩端電極1、2流動的電流“厶，輸出電流.