在設計和測試氧化層測試結構時,應當考慮到表面漏電流產生的誤差。表面漏DAC08CS電可以表現為氧化層測試結構的測試點之間的低電阻值,實際漏電位置與設計有關,可能是測試點之間的直接漏電,或者連接到測試結構的金屬線之間的漏電。當在一個濕度較低的環境中測試,或者由于鈍化層的存在,有助于限制表面漏電流,表面漏電就不會產生明顯的問題。

   測試氧化層測試結構時,與電流源有關的問題包括:高場時產生的穿透電流、斜坡上升過程中產生的位移電流、絕緣層擊穿時產生的峰值電流、相鄰結構和連接線的漏電流。避免電流引起的問題采用的措施有:使用寬條金屬和多晶連接線;使用多個并行的連接孔和通孔;避免絕緣層擊穿產生的峰值電流期間的電路開路、穿透電流產生的電遷移現象和電容上產生明顯的電壓降。