在3.2.2節圖34中的氣相外延設各是典型的臥式(水平式)氣相外延設備。外延設LD2981CU33TR各種類繁多,除了有臥式還有立式、筒式,常壓、低壓,熱壁、冷壁等多種類型之分。圖312所示是立式和筒式外延裝置。氣相外延設備一般由5部分組成。

   (1)反應器。這是進行外延生長的容器裝置,目前反應器有多種類型,如水平式、立式和筒式等。反應器采用耐高溫、清潔無污染的材料構成,如石英。反應器內有放置襯底的基座,冷壁式反應器的

基座多為石墨材質的易感器,上面覆有石英。在圖⒊12所示的立式和筒式反應器中,考慮到外延氣體在襯底表面的均勻分布,基座采用的支撐裝置多是可控旋轉機構。低壓反應器必須為耐壓、氣密裝

置。隨著科技的進步,新型反應器中還安裝有外延層實時厚度檢測、表面監測等裝置。

   (2)氣體系統。這是反應劑、摻雜劑等外延氣體存儲、輸運及其控制裝置。包含源氣瓶、管路、閥門、流量計等。氣態源是直接將氣瓶接人管路,而液態源通常是放在源氣瓶里.用載氣攜帶進入路。載氣攜帶液態源時對源的精確控溫非常重要,它決定了被載氣攜帶源的計量。近年來,為精確控制源的進氣量,采用了直接對液態源加熱汽化的裝置。外延管路采用耐腐蝕的不銹鋼或聚四氟乙烯管,必須密封性良好,不泄漏。流量計使用精密的質量流量計。