外延層的質量直接關系到制作在上面的各種元器件的性能。而外延過程中,外延層晶格是否完整, MAX1967EUB會存在哪些缺陷?外延層中摻人雜質的類型和數量,即電阻率大小及分布,外延層厚度及其均勻性,這些都是外延層質量評價的主要質檢指標。通過外延生長時的原位監測和生長完成之后對外延片的檢測可以得到上述主要質檢指標。

   外延缺陷類型及分析檢測

   外延缺陷按其所在位置可以劃分為兩類:一類是顯露在外延層表面的缺陷,這類缺陷可以用肉眼 或者金相顯微系統觀察到,通常稱為表面缺陷,主要有云霧線繁陷 層鐨 點缺陷 角錐體 劃旗 狀表面、角錐體、劃痕、星狀體、麻坑等;另一類是存在于外延層內部的晶格結構缺陷,也就是體缺陷,主要有位錯和層錯。另外。還有些缺陷起源干外延層內部,甚至是襯底內部,如襯底中的線位錯,外延生長時一直延伸到外延層表面,這類缺陷很難說是屬于表面缺陷還是屬于內部缺陷。