gan光電導型探測器的最大缺點是光電導的持續性，即光生載流子不會隨入射光的消失而立刻消失，此效應增加了光響應時間降低了探測器工作速率。相比之下，gan基肖特基結構紫外光電探測器有較好的響應度和更快的響應速度。第一支gan基肖特基紫外光電探測器于1993年被提出四，它具有如圖1（a）所示的結構：它也是在藍寶石襯底上外延生長gan，通過摻雜mg實現p型摻雜，最后再淀積電極形成肖特基勢壘和歐姆接觸，圖中ti/au為肖特基接觸，cr/au為歐姆接觸。零偏壓下光響應是0.13a/w，響應時間大約為1us，光譜響應也為200～365 nm。chen等人[28]剮改用n-gan制作了如圖1（b）所示的結構，首先在藍寶石稱底上生長ain緩沖層，接著生長載流子濃度為3×to＇：－qcm的n＋￣gan，然后生長載流子濃度為3×103cm 3的n-gan，最后電子束蒸發形成歐姆接觸和肖特基結。此光電探測器在5 v反向偏壓下響應度為18a/w，響應的量子效率超過65%，在負載電阻為50ω時光響應時間為118 ns。

　　圖1 gan基肖特基結構紫外光電探測器

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