關于誤差合成的理論和方法，在誤差理論的教科書中有詳盡的介紹，此處不必贅述。儀器精度分析中最常用的方法如下：

　　1.已定系統誤差的合成

　　對于符號和大小均為己知的誤差稱已定系統誤差。這類誤差按代數和合成，即

　　式中，εj為各已知的原始誤差所引起的儀器誤差，它等于原始誤差與傳遞系數的乘積。傳遞系數可由前面介紹的各種方法求出。

　　2.未定系統誤差與隨機誤差的合成

　　式中，s1,s2，···，sp為a類（隨機）不確定度分量；u1,u2，…，ur為確定度分量，

　　式中，ej為誤差界（-ej,ej）；k為置信因子，可以根據分布特性確定。

　　式（4－17）中的r是誤差之間的協方差之和。在多數情況下，可按所謂的“誤差獨立作用”原理，近似地令r=0。

　　3.儀器的總不確定度

　　式中，凡為置信因子，可以根據組成誤差的數目和分布特性確定。

　　4，儀器總誤差

　　由于儀器制造中多數隨機誤差與未定系統誤差屬于正態分布，再加上考慮誤差獨立作用原理，因此在實用中（尤其在初步計算時）常常采用式（4－21）的簡化形式，即

　　式中，εi為各項未定系統誤差與隨機誤差分量的極限值，t＝1，2，3，…，n。

5．精度分析舉例
用光波掃描干涉法測量磁盤磁膜厚度的公式為

式中，va、vb為波數，它們分別與波長九、九相對應；刀為薄膜折射率；甲為入射角。

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