器件電學測量
發布時間:2015/11/11 19:18:51 訪問次數:534
在工藝過程中,REF200AU對實際元器件參數進行直接測量是十分必要的。這些通常是對測試芯片中的特定器件或劃片線中的特定結構進行測量。
通過這些電學測最可以得到大量關于工藝的信息。這里我們會解釋基本測試和造成器件損失的主要常見因素,這些測試通常稱為參數電測( parametric testing)。它是在整個工藝流程的最后,對晶圓進行測試時,對器件電性能參數進行測量,而不是測試器件或電路的整體功能。一個完整的器件和工藝的問題處理不在此討論范圍。
器件電學測量的基本設備要求是:(1)探針臺,它將探針定位在器件七.(2)開關箱用來施加電壓、電流、器件的極性;(3)顯示結果的方法。當同時測量許多器件時,探針固定在印制電路板上,我們稱它為探針卡( probe card)。這里的測試號和晶圓電測工藝的測試卡相同。探測結果將通過示波器或特別的數字伏特計上的數值顯示出來。示波器所顯示的曲線,橫軸表示電壓,縱軸表示電流。它顯示了每種測量的電壓或電流之間的關系。對于每種測試接下來的部分是濕示取樣測試結果。處于量產階段時,進行數字化測試,并在讀出器上顯示其結果。這些測量系統有儲存和收集數據的能力。
在先進的系統里,探針臺可自動按順序探測幾個芯片。開關可自動允許設備按已預定的順序進行一系列測試。自動系統還包括測試結果的打印輸出和對數據的分析。就像手動操作一樣,系統會對其單個測試給出解釋。示波器上顯示的電壓、電流形狀和關系對理解器件是如何工作的非常有幫助。所有器件的測量方法基本相同。用接觸探針對元件施加電壓,測量流過接觸點間電流。
在工藝過程中,REF200AU對實際元器件參數進行直接測量是十分必要的。這些通常是對測試芯片中的特定器件或劃片線中的特定結構進行測量。
通過這些電學測最可以得到大量關于工藝的信息。這里我們會解釋基本測試和造成器件損失的主要常見因素,這些測試通常稱為參數電測( parametric testing)。它是在整個工藝流程的最后,對晶圓進行測試時,對器件電性能參數進行測量,而不是測試器件或電路的整體功能。一個完整的器件和工藝的問題處理不在此討論范圍。
器件電學測量的基本設備要求是:(1)探針臺,它將探針定位在器件七.(2)開關箱用來施加電壓、電流、器件的極性;(3)顯示結果的方法。當同時測量許多器件時,探針固定在印制電路板上,我們稱它為探針卡( probe card)。這里的測試號和晶圓電測工藝的測試卡相同。探測結果將通過示波器或特別的數字伏特計上的數值顯示出來。示波器所顯示的曲線,橫軸表示電壓,縱軸表示電流。它顯示了每種測量的電壓或電流之間的關系。對于每種測試接下來的部分是濕示取樣測試結果。處于量產階段時,進行數字化測試,并在讀出器上顯示其結果。這些測量系統有儲存和收集數據的能力。
在先進的系統里,探針臺可自動按順序探測幾個芯片。開關可自動允許設備按已預定的順序進行一系列測試。自動系統還包括測試結果的打印輸出和對數據的分析。就像手動操作一樣,系統會對其單個測試給出解釋。示波器上顯示的電壓、電流形狀和關系對理解器件是如何工作的非常有幫助。所有器件的測量方法基本相同。用接觸探針對元件施加電壓,測量流過接觸點間電流。
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