寬度:封閉幾何圖形的內邊之間的距離,由工藝(光刻)極限尺寸確定,如圖8.2所示。

   長度:在同一個幾何圖形中的較長方向,從一邊到另一邊的距離,如 圖8.3所示。

   間距:各幾何圖形外邊界之間的距離,避免短ACE721CADJBN+H路,如圖8.4所示。

最小延伸:在一個方向上,B層的圖形交疊過A層的圖形,在另外的方向則沒有限制。最小距離是從A層外邊到B層內邊的距離,如圖8.5所示。最小包含:圖層A被圖層B包含是指圖層A在圖層B的形狀里面。4個方向上的最小距離均是指圖層A的外邊到圖層B的內邊的距離,如圖8.6所示。最小交疊:最小交疊是指一種幾何圖形的內邊界到另一幾何圖形的內邊界長度,如圖8,7所示,用于防止實際工藝偏差造成的開路或短路。