圖13.8畫出了一個橋連的熱點, R10937P40這個熱點位于一個大的金屬結構附近,對于這個熱點OPC很難起到效果。MEEF分析結果表明(見圖13,9),相鄰線條邊緣在OPC之后MEEF,和OPC之前相比都變差了。

   圖13,8 取自Meta⒈1層的測試圖形。相鄰兩條線的間距僅為90nm,這會在后OPC驗證中導致橋連類型的缺陷目標層上線邊沿上最大的MEEF值是3.7。理想的結果是經過OPC之后該數值減少,

但事實上,經過OPC之后它增加到了4,7,由此導致了OPC不相容邊沿圖形。這來源于相鄰線條之間緊密的距離(90nm)。基于當前熱點的MEEF數值在OPC前已經很高了,通常的補救辦法是改變設計。

   對于這個熱點的設計修正是把相鄰線條的距離各移動10nm,使距離變為110nm。同 時去掉目標圖形⒈的凹凸不平之處,從而使得OP(r更容易。在這個例子中,由于附近有較大的空閘,所以這樣的移動是行的。

   圖139 線條熱點邊沿的MEEF測章。左邊的版圖給出OPC前的測量值,向f右邊的版罔給出OPt∶后的測董仙版圖修改以后.()PC之后邊緣的最大的MEEF值由原來的4.7變為3.2,而且MEEF比率(OPC之后∷OIDC之前)也由原來的4,7Ⅱ3.7=1,3變為3,2∷3.5=0.9。結果顯示在圖13.10中。