Beams2000型EMMI機臺,擁有CDD和MCT雙探頭復合模式和熱紅外模式EMM1平臺
發布時間:2017/11/14 20:42:39 訪問次數:1274
微光探頭是PEM系統核`b部件,是系統PI74FCT163244A探測靈敏度的決定因素。在深亞微米技術領域,隨著設計規則(design rule)及工作電壓(supply voltagc)的逐漸減小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面臨越來越大的挑戰。PEM系統的探測靈敏度成為成功定位的關鍵參數。遺憾的是,到目前為止,還沒有效的定量評估PEM系統探測靈敏度的方法。
PEM探測靈敏度取決于波長、微光探頭靈敏度、光學系統的精準度及噪聲(常指系統本身固有的寄生熱噪音)等。圖14,7為二種代表性商用微光探頭:CCD、MCT和InGaAs探頭量子效率同波長關系圖。
微光探頭是PEM系統核`b部件,是系統PI74FCT163244A探測靈敏度的決定因素。在深亞微米技術領域,隨著設計規則(design rule)及工作電壓(supply voltagc)的逐漸減小,微弱或小尺寸的缺陷亦能引起器件失效,使失效定位面臨越來越大的挑戰。PEM系統的探測靈敏度成為成功定位的關鍵參數。遺憾的是,到目前為止,還沒有效的定量評估PEM系統探測靈敏度的方法。
PEM探測靈敏度取決于波長、微光探頭靈敏度、光學系統的精準度及噪聲(常指系統本身固有的寄生熱噪音)等。圖14,7為二種代表性商用微光探頭:CCD、MCT和InGaAs探頭量子效率同波長關系圖。
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