雙層進出通道。維修區CY6116A-55DMB還可作為次潔凈室來儲存物料和供給,它們通過雙層進出通道進入潔凈室,這可保持潔凈室的潔凈度。進出通道可以是一個雙層門的盒子,或者是供給正壓過濾空氣,并有防止進出門同時打開的互鎖裝置。通常進出通道裝有高效顆粒收集(Ⅲgh Efflciency Particle Amass,HEPA)過濾器,所有進入潔凈室的物品與設備都須在進入前經過凈化處理。空氣壓力控制系統。嚴格防止空氣污染的廠房在設計方案上要平衡超凈間、更衣間和廠區的空氣壓力。通常超凈間的空氣壓力最高,更衣間次之,廠區和走廊最低。這樣當超凈間的門打開時,超凈間相對高的空氣壓力可以防止空氣中的灰塵進入。凈鞋器和手套清洗器。用凈鞋器去除鞋套和鞋側的灰塵。用手套清洗器清洗手套并烘干。

   防靜電設施。靜電會吸附空氣和工作服中的塵埃,容易影響晶圓上高密度的集成電路的制造和性能。靜電產生于兩種不同靜電勢的材料接觸或摩擦,帶過剩負電荷的原子被相鄰的帶正電荷的原子吸引,這種由吸引產生的電流泄放電壓可以高達幾萬伏。